潔凈室一般包括潔凈區、準潔凈區和輔助區三部分。

潔凈室的平面布置可以有以下幾種方式

外廊環繞式:外廊可以有窗和無窗,兼作參觀和放置些設備用,有的在外廊內設值班采暖。外窗必須是雙層密封窗。

內廊式:潔凈室設在外圍,而走廊設在內部,這種走廊的潔凈度級別般都較高,甚至和潔凈室同級

兩端式:潔凈區設在邊,邊設準潔凈和輔助用房

核心過式:為了節約用地縮短管線,可以潔凈區為核心,上下左右被各種輔助用房和隱蔽管道的空間包圍起來,這種方式避開室外氣候對潔凈區的影響,減少了冷熱能耗,利于節能。